Low Energy Electron Diffraction (LEED)

Eine Glühkathode in der Vakuumapparatur sendet Elektronen aus. Sie werden durch eine Spannung U (bis 100 V) beschleunigt und auf die Oberfläche der Kristallprobe (InP) fokussiert. Eine Hochspannung beschleunigt die vom Atomgitter der Kristalloberfläche gebeugten Elektronen in Richtung auf den Leuchtschirm. Die gesamte Anordnung ist in eine Kammer eingebaut, in der ein Ultrahoch-Vakuum herrscht. So wird die Oberfläche nicht durch Fremdatome einer Gasatmosphäre verunreinigt.