30 Jahre später gelang es Claus Jönsson, einen so feinen Doppelspalt herzustellen, dass erstmals die Interferenz von Elektronen nachgewiesen werden konnte, ohne dass diese in Materie eindringen bzw. durch diese hindurch dringen mussten.

Heute wird die Elektronenbeugung in vielfältiger Weise zur Untersuchung der Strukturen von Festkörpern und Gasen eingesetzt (siehe auch Lexikon der Physik):

• Niederenergetische Elektronen mit Energien zwischen 10eV und 1000eV dienen zur Untersuchung von Oberflächenstrukturen (LEED low energy electron diffraction).
• Bei höherer Energie von 5keV bis 50keV können Wachstumsprozesse auf Oberflächen beobachtet werden, die man z. B. beim Aufdampfen von Materialien auf Trägermedien z. B. beim Versilbern oder Vergolden benutzt (RHEED reflection high energy electron diffraction).
• Bei noch höheren Energie gelingt es, dünne Folien mit Elektronen zu durchstrahlen und ihre innere Struktur zu analysieren. Die Folien müssen z. B. durch Ätzung auf eine Dicke von ca. 1nm bis 100nm gebracht werden, und die Energie der Elektronen liegt bei 20keV bis 1000keV. Diese Anwendung ist als Elektronenmikroskopie bekannt und wird zur Analyse von Kristallen, chemischen Verbindungen und auch biologischen Substanzen verwendet (TEM transmission electron mikroscopy).